
高品质节能型磁芯薄膜芯片电感元件研制开发技术
2023-02-14
发布单位:河北寰球才智网
核心技术:高品质节能型磁芯薄膜芯片电感元件研制开发技术
项目单位:河北寰球才智网境外资源
行业领域:管理/咨询
项目描述
目前,大规模集成电路芯片的集成度越来越高,加工工艺精确到几十甚至十几纳米,所以薄膜化的电子材料变得越来越重要,应用范围越来越广。经过多年研究发现铁(Fe)、钴(Co)、硅(Si)和硼(B)四种元素按一定比例可以烧制成非结晶软磁性溅射靶,用磁控溅射仪进而可制成薄膜磁芯,1微米厚的薄膜在高频1.2GHZ的情况下相对慈导率大于80.目前该项目已经掌握了该项目的关键技术及全部工艺。
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